用干涉顯微鏡測(cè)量鍍膜厚度
【摘要】：
本文介紹了用干涉顯微鏡測(cè)量鍍膜厚度、光刻深度的方法。運(yùn)用公式、結(jié)合實(shí)例進(jìn)行計(jì)算,并給出了計(jì)算結(jié)果。
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