手機打開
論文排版
LPCVD系統(tǒng)淀積多晶硅薄膜的發(fā)霧分析
【摘要】：
敘述了采用LPCVD系統(tǒng)淀積多晶硅薄膜的機理 ,分析了在淀積多晶硅薄膜過程中引起發(fā)霧的因素 ,指出了保持LPCVD系統(tǒng)的潔凈能有效消除在淀積多晶硅薄膜過程中出現(xiàn)的發(fā)霧現(xiàn)象。
問答
快捷付款方式
訂購知網(wǎng)充值卡
訂購熱線
幫助中心