靜電梳齒驅動器薄膜變形反射鏡
【摘要】:
提出一種大沖程靜電梳齒驅動器微機械薄膜變形反射鏡,理論上研究了靜電梳齒驅動器微機械薄膜變形反射鏡的靜電驅動力和變形位移與驅動電壓的關系,分析了變形反射鏡的驅動穩(wěn)定性,比較了平板電容驅動器與縱向梳齒驅動器的驅動能力。結果表明,變形反射鏡的靜電驅動力和變...
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