微機(jī)械連續(xù)薄膜變形反射鏡
【摘要】：
建立了微機(jī)械連續(xù)薄膜變形反射鏡的靜電力驅(qū)動(dòng)理論模型,推導(dǎo)出微機(jī)械連續(xù)薄膜變形反射鏡的變形位移和驅(qū)動(dòng)電壓的關(guān)系表達(dá)式,利用該公式、靜電力表達(dá)式和彈性支撐的回復(fù)力分析了變形鏡的穩(wěn)定工作驅(qū)動(dòng)、不穩(wěn)定工作驅(qū)動(dòng)和最大變形位移,討論了變形鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)變形位移的...
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