基于不同襯底的二氧化硅可調(diào)復(fù)用器/解復(fù)用器的單片集成芯片研究
【摘要】:
分別設(shè)計制備了基于石英襯底和硅襯底的16通道200GHz二氧化硅可調(diào)復(fù)用器/解復(fù)用器。該器件由一個16通道200GHz的陣列波導(dǎo)光柵(AWG)和Mach-Zehnder干涉型熱光可調(diào)光衰減器(VOA)陣列構(gòu)成。在衰減量達(dá)到20dB的時候,基于石英襯底...
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