高場效應(yīng)遷移率鐵電柵二氧化錫薄膜晶體管的研究
【摘要】:
采用溶膠-凝膠法(Sol-Gel)制備了以n型Si為柵極、二氧化錫(SnO2)薄膜為溝道層、(Bi,Nd)4Ti3O12(BNT)薄膜為絕緣層的薄膜晶體管。晶體管呈現(xiàn)出n溝道增強型性能,其開態(tài)電流Ion=25μA,場效應(yīng)遷移率μsat=0.3cm2·...
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