CCD圖像傳感器劃片工藝優(yōu)化
【摘要】：
針對(duì)某型CCD圖像傳感器劃片過(guò)程中產(chǎn)生的靜電損傷、崩邊等缺陷造成器件失效,通過(guò)優(yōu)化劃片工藝條件,避免了靜電損傷,減少了崩邊缺陷,封裝的成品率由48%提高至96%。
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