不同晶向GaSb晶片表面化學(xué)組分及形貌分析
【摘要】：
對(duì)相同條件下制備的不同晶向的銻化鎵拋光晶片表面化學(xué)組分進(jìn)行了XPS測試比較,結(jié)果表明(110)GaSb晶片表面的氧化程度最為嚴(yán)重,表面極為粗糙;有極性的(111)GaSb晶面由于Ga—Sb價(jià)鍵存在于襯底內(nèi)部,反而氧化程度較低,表面較光滑。分析比較了G...
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