【摘要】： 為研究MEMS靜電驅動器的場電子發(fā)射效應,設計并加工了排斥驅動器和平行板驅動器兩種不同結構的靜電驅動器,實驗測試了電極間漏電流隨驅動電壓的變化關系,驗證了其滿足場發(fā)射效應的FN理論公式,從而首次觀察到靜電排斥驅動器的場致電子發(fā)射效應。根據(jù)測試結果計算...