a-SiCdTe∶H薄膜做液晶光閥光敏層的光學特性研究
【摘要】:
采用射頻磁控濺射法制備了用于液晶光閥光敏層的a-Si_(1-x)(CdTe)_x∶H薄膜。研究了CdTe含量對氫化非晶硅薄膜光學性能的影響。采用掃描電鏡(SEM)、X光電子能譜(XPS)、橢偏儀等測試手段對薄膜的表面形貌、成分和光學性能進行了表征。結...
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