【摘要】： 設(shè)計了一種用于非掃描式激光三維成像的64×64硅基線性雪崩二極管（APD）焦平面陣列組件，包括硅基線性APD陣列和讀出電路。陣列芯片采用背照式N~+-p-π-P~+結(jié)構(gòu)，像元中心距為150μm，工作在線性倍增模式。通過集成片上微透鏡、反射鏡和復(fù)合增透...